江炳尧
,
冯涛
,
王曦
,
柳襄怀
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.005
采用离子束辅助沉积技术,在硅、钼衬底上分别制备铂碳混合膜.XRD的分析结果表明,当铂碳混合膜中铂的组份较多时,有较强的铂(111)面衍射峰和较弱的铂(200)面衍射峰,铂的组份呈(111)择优取向.Raman谱的分析结果表明,碳基本上呈非晶状态.模拟二极管的实验表明,在纯钼阳极上镀覆铂碳混合膜,其抑制热电子发射的性能明显优于纯钼阳极.
关键词:
离子束辅助沉积
,
铂碳混合膜
,
栅电子发射
