孙骐
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吴广明
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周斌
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黄耀东
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邓忠生
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马建华
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沈军
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王珏
功能材料
二氧化硅气凝胶薄膜是一种应用广泛的功能材料.本文采用sol-gel技术和dip-coating镀膜工艺,在玻璃表面上形成了SiO2气凝胶薄膜,对SiO2膜层进行表面修饰处理,得到了疏水型SiO2气凝胶薄膜.研究了催化剂与老化过程对薄膜物性的影响.结果表明:该疏水膜能使玻璃表面与水的接触角由50°提高至125°,有明显的疏水效果.
关键词:
疏水
,
气凝胶薄膜
,
表面修饰
,
接触角
姚兰芳
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岳春晓
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鲁凤琴
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沈军
,
吴广明
稀有金属材料与工程
气凝胶薄膜具有超低的介电常数,在超大规模集成电路互连系统中有着巨大的应用潜力.采用溶胶-凝胶技术,通过酸/碱二步法控制实验条件,结合低表面张力溶剂替换以及CH3非活性基团置换修饰、超声振荡等,不需要超临界干燥,而仅在常压下就可以通过简单的提拉过程制备出疏水型低介电常数气凝胶薄膜.测得的红外透射光谱表明所制备的薄膜由于掺入甲基基团而疏水,接触角测试值约120°,制备过程中充分注意到:稀释、老化、有机修饰表面、热处理和提拉条件对膜的影响,使其过程达到最佳.热处理温度在150～650℃,采用6%三甲基氯硅烷时,制得的疏水型气凝胶薄膜折射率为1.08～1.12,介电常数为1.62～1.92.
关键词:
气凝胶薄膜
,
疏水
,
低介电常数
,
常压
,
溶胶-凝胶
陈高远
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魏巍
,
丁当仁
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宗瑟凯
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张明
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谢吉民
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.044
为了快速制备平整高透过率SiO2气凝胶薄膜,以正硅酸乙酯(TEOS)为硅源,乙二醇甲醚(EG-ME)为溶剂,氟化铵为催化剂,甲酰胺(FORM)等为干燥控制化学添加剂(DCCA),通过浸渍提拉法制备SiO2气凝胶薄膜.采用傅里叶变换红外分析仪(FT-IR)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)、表面孔径吸附仪对材料的结构和性能进行表征,紫外-可见分光光度计(UV-Vis)考察了材料的减反性能.结果表明,所制SiO2气凝胶薄膜的比表面积为890.9 m2/g,孔径集中分布在22.6 nm处,孔容集中分布在0.69 cm3/g,400～800 nm范围平均透过率可达95.71％.这种均匀、平整、致密的膜层,是理想的光学减反膜.
关键词:
气凝胶薄膜
,
乙二醇甲醚
,
氟化铵
,
干燥控制化学添加剂
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减反膜
