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气-液-固法在半导体纳米线生长中的应用

彭英才 , 赵新为

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.003

气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术.本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展.最后提出了改进VLS方法的几项措施,并展望了它的今后发展趋势.

关键词: 气-液-固法 , 金属催化剂 , 纳米线与阵列 , 生长机制