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反应磁控溅射法沉积的氟化类金刚石薄膜的结构分析

江美福 , 宁兆元

以高纯石墨作靶、Ar/CHF3作源气体采用射频反应磁控溅射法室温下制备了氟化类金刚石薄膜(F-DLC).发现随着射频功率的增加,F-DLC薄膜拉曼光谱的D峰与G峰强度之比ID/IG加大,薄膜中芳香环式结构比例上升.红外吸收光谱则显示射频功率增加导致薄膜中的氟含量上升,氟原子与碳原子以及芳香环的耦合加强.控制射频功率可以有效调制薄膜中的氟含量以及芳香环结构的比例,F-DLC可能成为热稳定性较好的碳氟薄膜.

关键词: 反应磁控溅射 , 氟化类金刚石薄膜 , 拉曼光谱 , 红外吸收光谱

掺杂氟对类金刚石薄膜的影响

唐雄心 , 赵建生

综述了氟化类金刚石薄膜(FDLC)的近期进展,重点介绍搀杂氟对类金刚石薄膜在结构、性能及沉积工艺上所带来的影响.

关键词: 氟 , 氟化类金刚石薄膜

源气体流量比对F-DLC薄膜结构的影响

江美福 , 宁兆元

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.04.019

以高纯石墨作靶、CHF3/Ar作源气体采用反应磁控溅射法制备出了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.拉曼光谱表明,CHF3相对流量的增加会引起薄膜的D峰与G峰强度之比I(D)/I(G)减小,晶粒增大,芳香环结构比例下降.红外吸收光谱分析证实了这些推论,指出这是由于薄膜中氟含量上升的结果.

关键词: 反应磁控溅射 , 氟化类金刚石薄膜 , 拉曼光谱 , 红外吸收光谱

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