王海燕
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卢景霄
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吴芳
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王子健
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张宇翔
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靳瑞敏
,
张丽伟
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.034
本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅,通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究,定性地分析了氧在多孔硅层中的作用及主要热行为.分析了多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题:多孔层微孔尺寸、太阳电池工艺中各热处理过程的温度和时间、多孔层与电极材料是否形成欧姆接触及快速热氧化(RTO)的钝化效果.
关键词:
氧钝化
,
快速热处理(RTP)
,
快速热氧化(RTO)
,
减反膜
