材料期刊网

微波等离子体低温制备氮杂二氧化钒薄膜

陈金民 , 黄志良 , 刘羽 , 王升高

功能材料

选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,采用微波等离子体增强法,在低温条件下,成功制备了氮杂二氧化钒薄膜.通过X射线衍射(XRD),FT-IR对样品进行表征,结果表明:合成的样品为多晶氮杂二氧化钒.相变温度测试结果表明:退火工艺可以降低相变温度,同时提高薄膜的结晶度;改变氮气流量,相变温度先降低后升高,当氮气流量为20ml/min时,相变温度可以降低至40℃.

关键词: 微波等离子体 , VO2 , 氮杂二氧化钒 , 相变温度