宋鹏
,
陆建生
,
周洁
,
张德丰
,
杨滨
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.02.036
利用有限单元法对影响金属薄膜沉积初期的因素进行了计算机模拟.按膜料为Pt、Pt-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等五种模式,采用刚性球入射到C或Si基底,重点研究了沉积原子的半径差异比、沉积原子能量和原子入射角等参数对薄膜沉积的影响,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性.
关键词:
金属薄膜
,
沉积因素
,
有限单元法
,
计算机模拟
