张碧云
,
曲燕青
,
谢红梅
,
聂朝胤
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.03.024
简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量.总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、医学、航空等领域的应用状况.同时指出,随着DLC技术上的成熟,其必将在更多领域发挥越来越大的作用.
关键词:
类金刚石
,
薄膜
,
制备
,
应用
,
沉积技术
张增志
,
付跃文
,
周有强
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.040
提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法-燃烧化学沉积法.该方法省去了真空条件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相.本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构.
关键词:
纳米陶瓷
,
燃烧化学
,
沉积技术
,
α-Al2O3
