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电感耦合等离子体原子发射光谱法测定太阳能级硅中硼

孙东亚 , 何丽雯

冶金分析 doi:10.13228/j.issn.1000-7571.2014.10.008

研究了用电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-AES)测定太阳能级硅(SOG-Si)中硼的方法.试验发现,在110℃左右的温度下,用氢氟酸和硝酸的混合溶液作溶剂,试样在PFA烧杯中能较快溶解,且在溶样时添加0.3 mL甘露醇,可有效抑制硼的损失.在1000级洁净室中,用金属氧化物半导体(MOS)级...

关键词: 电感耦合等离子体原子发射光谱法 , 太阳能级硅 , 洁净室 , 硼