汪飞琴
,
苏小平
,
霍承松
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.06.004
介绍了采用化学气相沉积(CVD)技术制备ZnS的原理及特点,提出用气体流形模拟研究目前生长过程中沉积厚度均匀性、长时间沉积稳定性以及重复性等问题.选择了合适的描述沉积室内气体运动的流体力学和表面反应动力学模型,利用流体力学的偏微分方程组(Navier-Stokes方程组),通过数值计算,得到沉积室内的速度场及流动场的模拟结果.比较可得在一定流速比下,采用环形主气流及横截面小的沉积室,可大大提高沉积室纵向生长均匀性.
关键词:
化学气相沉积
,
ZnS
,
流体动力学模拟
,
流动场
