王廷富
,
潘庆谊
,
金永林
,
张剑平
,
程知萱
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.03.007
以InCl3@4H2O为原料,采用溶胶-凝胶技术、浸渍-涂布法制备了In2O3薄膜.同时对薄膜厚度与In2O3含量、涂布液粘度以及提拉速度等关系进行研究,发现薄膜厚度与涂布液粘度、提拉速度成对数线性关系.膜厚与提拉速度的关系式为t≈v0.62.XRD、IR测试表明经过400℃煅烧,PVA已经完全排除.SEM照片表明薄膜形貌平整、光亮,从而为该种材料制作实用的气敏元件打下了良好的基础.
关键词:
溶胶-凝胶
,
浸渍-涂布
,
薄膜
,
氧化铟
