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液相电沉积类金刚石薄膜的研究进展

江河清 , 张治军 , 徐洮 , 刘维民

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.02.002

概括介绍了液相电沉积技术的基本方法及原理,重点从3个方面介绍了电化学方法制备类金刚石薄膜的研究情况,并简要分析了其反应机理,最后对液相电沉积技术的发展前景进行了展望.

关键词: 液相电沉积 , 类金刚石薄膜 , 反应机理 , 进展

液相电沉积类金刚石薄膜的组成及结构分析

江河清 , 黄丽娜 , 张治军 , 徐洮 , 刘维民

功能材料

利用液相电沉积的方法,从乙腈中在硅片上沉积非晶碳薄膜,首次发现了电流密度随反应时间呈波动变化的规律.红外光谱和拉曼光谱分析表明所得薄膜是一种典型的含氢类金刚石薄膜(a-C∶H薄膜),并用高斯分解的方法对非晶碳薄膜的拉曼光谱和X射线光电子能谱进行定量分析,从而确定这种a-C∶H薄膜中sp3的相对含量为30%～35%.

关键词: 液相电沉积 , a-C∶H薄膜 , Raman光谱 , XPS , 高斯分解

液相电沉积类金刚石薄膜的相关物理化学问题

酒金婷 , 付强 , 汪浩 , 朱鹤孙

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.03.030

利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC),讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中sp3碳的生长;最后,作者提出了液相沉积类金刚石薄膜的反应机理-极化-反应机制,在电场的作用下,有机分子被极化并在电极表面反应生成DLC薄膜和其他产物.

关键词: DLC薄膜 , 液相电沉积 , 碳源 , 反应机理

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