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溶胶-凝胶法制备SiO2/ZrO2无机复合膜的研究

张克铮 , 邱春阳

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.02.026

以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶--凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜的性能;ZrOCl2的存在对渗透比的影响不大,但能够提高溶胶的交联度,从而提高制膜效率,同时也有利于渗透通量的提高;采用浓溶胶和稀溶胶结合的方式涂膜不但可以提高制膜效率,还可以提高膜的性能.添加剂TEABr能够均化膜孔径,提高膜的性能.

关键词: 溶胶--凝胶法 , ZrO2/SiO2 , 渗透比 , 渗透通量 , 无机复合膜

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