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不同化学蚀刻法对石英基片激光损伤阈值的影响

赵松楠 , 吕海兵 , 晏良宏 , 袁晓东 , 郑万国

材料导报

为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阈值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤阈值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异.通过实验研究,总结了不同蚀刻方式的优缺点,研究表明酸蚀刻法可以有效提高石英基片激光损伤阈值.

关键词: 激光损伤阈值 , 湿化学蚀刻 , 石英基片 , 表面形貌