贾贵西
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李言
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李洪涛
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胡鹏飞
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张翔
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蒋百灵
功能材料
采用闭合场非平衡磁控溅射技术,固定碳靶电流参数,调节铬靶电流参数,在GCr15轴承钢球、45#钢和单晶硅基体上制备出自润滑Cr/C复合镀层.用XRD对镀层相结构进行分析,测试了镀层的摩擦系数、磨损率、结合强度、硬度和韧性,用光学显微镜观察镀层磨损形貌.结果表明,镀层相结构为非晶态,随铬靶电流变大逐渐向晶态转变;与未镀层的基体相比,镀层有良好的摩擦磨损性能和载荷承载能力;镀层随铬靶电流增加,硬度逐渐降低,韧性逐渐提高.所获铬电流为0.1和0.3A镀层有很好的自润滑性能,且后者有良好的综合机械性能.
关键词:
磁控溅射
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溅射工艺参数
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Cr/C自润滑镀层
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机械性能
