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仇萍荪 , 程文秀 , 何夕云 , 郑鑫森 , 丁爱丽
功能材料
用射频磁控溅射法在SrTiO3衬底上外延生长PLZT薄膜,研究了不同的溅射工艺对薄膜生长速率的影响,探讨了不同的后期热处理条件与薄膜取向度的关系.在SrTiO3衬底上成功制备出外延生长的、厚度达1.5μm的PLZT薄膜.
关键词: SrTiO3衬底 , PLZT膜 , 溅射条件 , 外延生长
