阮芳芳
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于得洋
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张明武
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王伟
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陈婧
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邵曹杰
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卢荣春
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宋张勇
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蔡晓红
原子核物理评论
针对高电荷态离子与表面作用产生的溅射离子能谱测量,研制了一台127°径向位置灵敏柱形静电离子能谱仪.利用能量为800 keV的Ar8+离子轰击金属铍靶产生的溅射离子测试了本谱仪.测试结果表明,该谱仪克服了传统静电谱仪通过扫描工作电压单能量点取谱的缺点,实现分段取谱--在单个工作电压下可同时获取一段0.85Ec≤E≤1.15Ec范围的能谱,从而提高测量效率.
关键词:
同轴柱形静电离子能谱仪
,
径向位置灵敏
,
溅射离子能谱
