王哲哲
,
赵高扬
,
林林
,
冯卓宏
,
郑志强
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.12.015
提出一种利用感光溶胶-凝胶法结合紫外光刻技术制备 Al2 O3微细图形的方法。以 Al (O-Sec-Bu)3为前驱物,β-二酮类配体 H(C10 H12 O2)为化学修饰剂,合成了稳定的、具有良好感光性的含 Al 金属螯合物,进而制备出相应的感光薄膜。研究了薄膜的紫外和红外光谱特性及其在紫外光辐照...
关键词:
Al2 O3 薄膜
,
感光溶胶-凝胶
,
化学修饰
,
激
