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齐军 , 王昆林 , 梁绵长 , 朱允明
材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.1999.03.012
研究了利用调Q Nd:YAG 激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系.还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的能量密度阈值.
关键词: 激光划片 , 硅片 , 能量密度阈值
