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冯钟潮 , 郭良 , 梁勇 , 韩健 , 侯万良 , 宁小光
金属学报
用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。
关键词: 激光化学气相沉积 , Si_3N_4 film , microstructure , hardness , wear resistance , corrosion resistance
