罗成思
,
袁晓东
,
刘春明
,
向霞
,
章春来
,
吕海兵
,
祖小涛
材料导报
CO2激光对熔石英损伤修复的机理主要是通过激光的热效应使表面发生熔融,对损伤处起到弥合作用使元件的表面结构趋于完整.近几年CO2激光修复的方法按激光扫描方式可以分为光栅式扫描法和振镜扫描法.利用逐渐提高功率的扫描方式可以有效减少修复过程中气泡的产生,用高温退火的方式可以完全消除或者消除大部分修复后产生的应力,这取决于损伤点的尺寸.多种处理工艺相结合的方法可以有效提高修复后的损伤阈值.
关键词:
熔石英
,
CO2激光
,
激光诱导损伤
,
损伤修复
夏志林
,
邵建达
,
范正修
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2006.06.005
计算了不同材料的能带带隙、初始电子密度、激光波长和激光脉宽等参数对薄膜的抗激光损伤阈值的影响,研究了在不同脉冲宽度激光作用下多光子离化和雪崩离化两种损伤机制的竞争.结果表明,在以平均电子能量不变为特征的雪崩电离的建立期间,光电离速度影响初始电子的浓度,从而影响雪崩电离和光电离之间的竞争.激光脉冲的宽度越大,雪崩电离对电子发展的贡献越大,而多光子离化的贡献越小.
关键词:
材料科学基础学科
,
薄膜
,
激光诱导损伤
,
联合损伤机制
,
损伤阈值
