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小角X射线衍射技术在TiAlN涂层中的应用

胡明媚 , 朱丽慧 , 倪旺阳 , 刘一雄

上海金属 doi:10.3969/j.issn.1001-7208.2012.03.005

主要采用常规X射线衍射法(XRD)和小角X射线衍射法对微米级厚度的Ti0.5Al0.5N涂层分别进行了物相检测、晶格常数计算和残余应力测定,并对测量结果进行了比较.结果表明:常规XRD法得到的图谱中基体信息强,而小角XRD法排除了基体衍射峰的干扰,更好地反映出TiAlN涂层信息;与常规XRD相比,小角XRD技术能显著降低晶格常数测量误差,有效测定TiAlN涂层的残余应力值.

关键词: TiAlN涂层 , 小角X射线衍射 , 物相检测 , 晶格常数 , 残余应力

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