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悬空纳米间隔电极对的制备并应用于单分子电学性质测量

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.071

将普通光刻技术和电化学技术相结合,在微芯片上制备得到了机械可控断裂结法(MCBJ)所需的悬空纳米间隔金属电极对,并分别用热氧化二氧化硅和聚酰亚胺(PI)作为牺牲层使得电极对悬空,明显提高了可控断裂的实验成功率,并延长了微芯片使用寿命.利用分子自组装和MCBJ方法成功构筑了金属/分子/金属结,并实施了对巯基苯胺(BDT)单分子的电学性质测量,得到了BDF的电导值和I-V特性曲线.

关键词: 分子电子学 , 机械可控裂结法 , 单分子电导 , 牺牲层 , 微加工

用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构

宁瑾 , 刘忠立 , 刘焕章 , 葛永才

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.017

提出一种新的牺牲层工艺.先将阳极氧化生成的多孔硅在 300℃的氮气氛下进行退火以稳定其多孔结构,然后将其在 700℃下氧化成为具有多孔结构的二氧化硅.用氧化的多孔硅材料作为牺牲层材料,既可以保留多孔硅牺牲层材料释放迅速的优点,又克服了多孔硅在释放时的局限性.实验运用氧化的多孔硅材料作牺牲层成功制备了悬空振膜和悬臂梁结构.

关键词: 氧化多孔硅 , 牺牲层 , 悬空微结构 , 阳极氧化

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悬空纳米间隔电极对的制备并应用于单分子电学性质测量

用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构

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