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朱晓东 , 黄鹤 , 胡奈赛 , 何家文
金属学报
采用滚动接触疲劳法对气相沉积硬质薄膜的结合强度进行了研究. 结果表明, 反映膜基结合强度的力学参量为界面最大剪应力幅. 采用数值计算的方法, 可以定量得到膜基界面处的应力分布.
关键词: 薄膜 , null , null , null
