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机械化学抛光(CMP)工艺普遍应用于纳/微机械制造中,特别是复杂的层状结构MEMS.鉴于镍及镍基合金具有高的沉积速率、可控的薄层应力、低的电阻和制备温度以及机械特性,本文研究了镍及镍基合金用于具有运动结构的纳/微EMS器件的可行性,重点研究了基于镍的CMP工艺,其电化学势的变化用电动势极化曲线进行了...

关键词: 机械化学抛光 , 纳/微机械 , 镍 , 电动势

原子氢传感器电池体系静态数学模型

阎一功 , 杜元龙 , 肖恺

腐蚀学报（英文） doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2003.06.014

利用热力学方法,讨论了温度、隔膜材料对原子氢传感器电池体系电动势、内电阻的影响,构建了传感器电池体系静态数学模型.在此基础上,给出了利用试验求解电动势、内电阻温度系数的方法,并通过试验分析了三种隔膜材料在280K～360K范围内对电池体系传输特性的影响.

关键词: 原子氢传感器 , 电池体系 , 电动势 , 内电阻 , 温度

混合电解质中HCl热力学性质--HCl-C3H8O3-NaCl-H2O体系

王琴萍 , 吕殿祯 , 孙雪丽

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2003.02.011

在恒定溶液总离子强度I＝1.00 mol/kg,改变甘油在混合溶剂中的质量分数为5、15和20的条件下,测定了无液体接界电池(A)和电池(B)的电动势.Pt,H2 (105 Pa)│HCl(c),C3H8O3(w),H2O(1-w)│AgCl-Ag(A)Pt,H2 (105 Pa)│HCl(cA),...

关键词: 活度系数 , 电动势 , 电极电势 , HCl , 无液接电池