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异丙醇溶液中电化学法制备类金刚石薄膜的研究

何洋洋 , 张贵锋 , 侯晓多 , 曹保胜

材料导报

采用电化学方法,以分析纯的异丙醇溶液作为碳源,低温(60～70℃)常压条件下,在(100)硅片上沉积了类金刚石薄膜.利用扫描电子显微镜( SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱仪(Raman)和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)表征了薄膜的表面形貌和结构.结果表明,电解异丙醇溶液可以获得表面均匀致密且sp3碳含量较高的含氢类金刚石薄膜.

关键词: 类金刚石薄膜 , 电化学沉积拉 , 曼光谱 , 傅里叶变换红外光谱