张玉勤
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蒋业华
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周荣
功能材料
研究了磁控溅射法制备的Cr-Si-Ni电阻薄膜在不同模拟环境介质溶液中的电学稳定性及腐蚀行为.结果表明,500℃热处理后纳米晶结构的Cr-Si-Ni电阻薄膜在25℃的模拟海洋、工业、酸性及碱性环境介质溶液中浸泡240h后,薄膜试样的相对电阻变化值(ΔR/R)分别为0.27%、0.08%、0.96%、3.31%.说明薄膜在上述4种环境中电学稳定性和耐腐蚀性能从高到低依次为:工业环境、海洋环境、酸性环境、碱性环境.薄膜在4种溶液中都能发生自钝化现象而在膜层表面形成SiO2保护层,形成的钝化膜在模拟的工业环境中最稳定.
关键词:
电阻薄膜
,
模拟环境
,
电学稳定性
,
腐蚀行为
朱葛俊
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张波
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徐良
材料保护
过去，鲜有Zr掺杂氧化铟锡（ITO）薄膜电学稳定性及耐蚀性的研究报道。采用磁控溅射法制备了ITO薄膜和Zr掺杂ITO薄膜（ITO：Zr），研究了2种薄膜的微观结构、光电性能及其在3种模拟腐蚀环境（酸性、海洋、工业）腐蚀液中的电学稳定性及耐腐蚀性。结果表明：Zr的掺杂导致了ITO薄膜择优取向向（400）晶面转变，ITO：Zr薄膜比ITO薄膜具有更好的光电性能；2种薄膜在3种环境介质中都能发生自钝化，在工业环境中具有最好的耐腐蚀性能；ITO：Zr薄膜比ITO薄膜具有更好的电学稳定性和耐腐蚀性。
关键词:
磁控溅射
,
ITO薄膜
,
Zr掺杂
,
电学稳定性
,
耐腐蚀性
,
腐蚀环境
