陈志龙
,
潘文旭
,
杨扬
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.03.020
电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机械陀螺产生在驱动模态固有频率下的振幅稳定的正弦振动;检测电路的主要功能是拾取陀螺所产生的角速度信号.为了提高陀螺的工作带宽和线性度,检测电路采用了力平衡方式.本文从微机械陀螺接口电路的工作原理、传输函数和稳定性等方面分析了这种形式的微机械陀螺的接口电路.并介绍了接口电路中用到的几种主要器件.
关键词:
接口电路
,
微机械陀螺
,
电磁驱动
,
电容检测
赵幸娟
,
王瑞荣
,
石云波
,
刘俊
,
唐军
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.03.019
通过对微机械陀螺的调研分析,提出了一种新型微机械陀螺仪,并对陀螺进行了结构设计.该结构采用静电梳齿驱动、栅结构电容检测,使陀螺具有较高灵敏度.驱动模态和检测模态均为滑膜阻尼,能够实现较高的Q值,且具有一定的解耦特性.文中通过仿真分析得到了结构的各阶频率,使陀螺驱动模态和检测模态固有频率匹配,验证了结构的合理性.结合现有加工工艺水平进行了加工,并验证了其高灵敏度特性.
关键词:
硅微机械陀螺
,
电容检测
,
结构设计
