张玉勤
,
蒋业华
,
周荣
功能材料
研究了磁控溅射法制备的Cr-Si-Ni电阻薄膜在不同模拟环境介质溶液中的电学稳定性及腐蚀行为.结果表明,500℃热处理后纳米晶结构的Cr-Si-Ni电阻薄膜在25℃的模拟海洋、工业、酸性及碱性环境介质溶液中浸泡240h后,薄膜试样的相对电阻变化值(ΔR/R)分别为0.27%、0.08%、0.96%、3.31%.说明薄膜在上述4种环境中电学稳定性和耐腐蚀性能从高到低依次为:工业环境、海洋环境、酸性环境、碱性环境.薄膜在4种溶液中都能发生自钝化现象而在膜层表面形成SiO2保护层,形成的钝化膜在模拟的工业环境中最稳定.
关键词:
电阻薄膜
,
模拟环境
,
电学稳定性
,
腐蚀行为
董显平
,
吴建生
,
毛立忠
功能材料
在PN2/PAr2分压比分别为0%、2.5%、5%、1O%的溅射气氛中制备了不同氮含量的Cr-Si-Ni-N薄膜,并研究了薄膜在热处理过程中的晶化、氧化行为以及电性能变化.结果表明,非晶Cr-Si-Ni-N薄膜在加热过程中,将析出晶化相CrSi2;随薄膜中氮含量增加,晶化相的形核与长大减缓,然而,薄膜的抗氧化能力得到提高.与低氮含量Cr-Si-Ni-NN薄膜相比,高氮含量Cr-Si-Ni-N薄膜的电阻值在热处理过程中变化较小、欲获得较小电阻温度系数(TCR)需要更高的退火温度.
关键词:
电阻薄膜
,
晶化
,
氧化
,
氮
,
电性能
