姜舰
,
邓树军
,
戴小林
,
吴志强
,
朱秦发
,
刘冰
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2010.06.028
随着国内硅材料应用技术不断发展,在大直径单晶的直径生长控制方面除了在设备上采用更加先进的双CCD系统,同时也对单晶生长的直径PID提出了更加严格的要求,因此研究单晶生长的直径PID参数设置有着重要意义.以等径阶段PID参数设置为研究对象,采用晶体生长的实验方法研究了不同PID参数控制对晶体生长的影响...
关键词:
大直径
,
直拉
,
单晶直径
,
PID参数
