欢迎登录材料期刊网
李晓海 , 陈贵清 , 韩杰才 , 孟松鹤
宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2005.06.003
简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细的介绍,并指出使用电子束物理气相沉积技术制备微层材料具有广阅的发展前景.
关键词: 电子束物理气相沉积 , 微层材料 , 直接气相沉积
