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非晶CIGS前驱膜无硒退火的相变历程

闫勇 , 张艳霞 , 李莎莎 , 晏传鹏 , 刘连 , 张勇 , 赵勇 , 余洲

功能材料

采用一步射频磁控溅射法在室温获得了CIGS薄膜，研究了不同的真空无硒退火温度（150～350。C）对CIGs薄膜相变历程的影响。薄膜相变历程中的结构和性能采用XRD、SEM、EDS、紫外一可见光吸收和四探针等测试手段进行测试表征。结果表明，室温下制备的CIGS薄膜为非晶态，随退火温度升高发生非晶CI...

关键词: 退火温度 , 射频磁控溅射 , CIGS薄膜 , 相变历程