刘紫微
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华佳捷
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林初城
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姜彩芬
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曾毅
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140065
为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率,使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析,本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,及调整EBSD探头位置及角度,收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研究了减薄块体样品厚度对透射电子菊池衍射花样的影响,对减薄氧化锆涂层样品进行了t-EBSD面分布分析,其结果的平均角度偏差(MAD)值仅为0.38,成功鉴定出小于30 nm尺度的纳米氧化锆涂层立方相；将超声分散后的纳米TiO2粉体滴在铜网上,采用t-EBSD对纳米颗粒进行点分析,成功鉴定了锐钛矿相和金红石相TiO2,其中纳米锐钛矿TiO2粉体的最小尺寸为20 nm左右,使得扫描电镜中相鉴定的最小分辨率从目前的约100 nm提高到小于30 nm,大大拓展了电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用范围。
关键词:
透射模式电子背散射衍射
,
高分辨率
,
相鉴定
,
纳米材料
