席力
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周军军
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孙青锦
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卢建敏
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张喆
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李发伸
功能材料
利用射频磁控共溅射方法,通过改变Nd靶溅射功率,制备了一系列Ta/Ndx(FeCo)100-x/Ta纳米薄膜.研究了其结构和磁性随Nd含量和真空磁场退火温度(T)的变化关系.X射线衍射研究表明制备态的薄膜为非晶态,随着退火温度的升高,逐渐析出FeCo纳米晶,随T的进一步升高,FeCo纳米晶粒逐渐变大,而且在薄膜中生成了FeCoNd合金纳米晶.利用振动样品磁强计研究了纳米薄膜的静态磁性,结果表明,饱和磁化强度随着Nd含量的升高而降低.经真空磁场热处理的样品都表现出很好的面内磁各向异性,在Ta/Nd20(FeCo80)/Ta样品中获得了易轴矫顽力135.32A/m,难轴矫顽力为199A/m,各向异性场为8166.96A/m的优异静态磁性,表明在高频领域具有很好的潜在应用前景.
关键词:
纳米晶
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真空磁场退火
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软磁薄膜
