段萌
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张运强
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潘国庆
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朱瑞华
,
魏俊俊
,
陈良贤
,
李成明
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.043
目的 通过分析CVD金刚石膜与几种常用红外光学窗口材料在砂蚀过程中形貌特征以及红外透过率的变化规律,获得CVD金刚石膜在砂蚀过程中的材料去除机制及抗砂蚀性能的关键因素.方法 采用喷射式冲蚀磨损系统,对CVD金刚石膜及其他几种常见红外光学材料进行砂蚀性能测试.通过扫描电子显微镜对材料冲蚀后表面形貌进行...
关键词:
CVD金刚石膜
,
红外窗口
,
砂蚀
,
冲蚀机制
