材料期刊网

以SiHCl3和SiCl4的混合物为原料制备多晶硅热力学

侯彦青 , 谢刚 , 俞小花 , 李荣兴 , 宋东明

中国有色金属学报

根据相关热力学数据,首先计算并拟合得到Si-Cl-H三元系中气相Cl与H原子的摩尔比(nCl/nH)与反应达到平衡时的气相Si与Cl原子的摩尔比(nsi/nCl)Eq的关系.为了得到合理的SiCl4 (STC)和SiHCl3 (TCS)的进料配比,详细分析TCS与STC的3种配比(nTCS/nSTC...

关键词: 西门子法 , SiHCl3 , SiCl4 , 多晶硅 , 硅产率