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铜离子催化作用下单晶硅表面微纳结构的制备

丁月 , 卢建树

表面技术

目的 结合金属辅助化学湿法刻蚀原理,在单晶硅表面制备高效减反的微纳米结构.方法 以单晶硅为基体,提出用Cu2+作为催化剂,在单晶硅表面两步化学刻蚀出多种微纳米减反结构,运用SEM/AFM表面分析方法,对形成的表面形貌和制备工艺进行分析,详细介绍了铜离子催化作用下制备微纳米结构的机理、反应现象及主要影...

关键词: 硅基体 , 微纳结构 , 铜离子 , 太阳能电池