杨铭杰
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刘伟
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孙家林
金属功能材料
本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜,用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片.分别在乙二醇和丙三醇两种电解液中进行阳极氧化,均在硅基底上形成了高度有序的TiO2纳米管阵列.该方法与硅工艺集成技术兼容,有利于基于TiO2纳米管阵列的微纳米器件的设计和制造.
关键词:
TiO2纳米管阵列
,
阳极氧化法
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硅基底
,
磁控溅射
刘意春
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张家敏
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严继康
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杜景红
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甘国友
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易健宏
稀有金属材料与工程
在n-型Si片(100)面上直接电沉积Fe-Ni合金薄膜,并对电沉积过程特征及薄膜的结构和性能进行了研究.当阴极电流密度高于1.0 A/dm2时,可获得连续致密的合金薄膜,且电沉积表现为异常共沉积过程.在1.0～4.0 A/dm2范围内改变电流密度可调控合金薄膜的Ni质量分数从45％到78％之间改变...
关键词:
Fe-Ni合金薄膜
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电沉积
,
硅基底
,
磁性能
李小娇
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郝春成
材料导报
采用微波加热法,在单晶硅基底上生长了铜纳米粒子,并以铜纳米粒子为催化剂,乙炔为碳源,氢气为保护气,在管式炉中制备了碳纤维.利用高视频显微仪观察单晶硅片的预处理情况,采用扫描电子显微镜(SEM)观察硅基底上铜纳米粒子的生长情况和碳纤维的形貌特征,并利用能量色散谱仪(EDS)对铜纳米粒子进行成分及元素分...
关键词:
碳纤维
,
铜纳米粒子
,
微波加热
,
硅基底
张君慧
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郭丽芳
,
赵清华
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张文栋
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李大维
,
李刚
,
孙伟
稀有金属材料与工程
采用低浓度的无机溶剂HF溶液(0.05％,质量分数)对溅射在硅基底上的400 nm钛薄膜进行阳极氧化制备TiO2纳米管阵列,并利用SEM对制备出的TiO2纳米管阵列进行表征.实验结果表明,通过优化阳极氧化电压幅值、电压施加方式和氧化时间,均可有效控制纳米管阵列的尺寸和形貌.首先施加0.5V的低电压2...
关键词:
硅基底
,
阳极氧化
,
TiO2纳米管阵列
刘长友
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王金芳
,
孙晓燕
,
介万奇
功能材料
采用真空蒸镀法在Si（100）基底上制备了六角片状Zn微晶薄膜，并由N2H4·H2O-水热体系制备了Si基片状ZnO微晶薄膜。XRD、SEM及EDS测试与分析结果表明，纤锌矿结构片状Zn0微晶长度约1μm、厚度约100nm，几乎垂直于Si基面，且在基面上随机组合成连续薄膜。联系室温Si基Zn微晶薄膜...
关键词:
ZnO
,
硅基底
,
生长机理
