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元美玲 , 曾宇昕 , 徐飞 , 王水凤 , 程国安
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.016
测量了用离子注入方法将La、O+双注入硅基样品在室温下的光致发光(PL)谱,实验结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随退火温度和注入顺序的不同而变化.用原子力显微镜观察了不同条件下制备的样品的表面形貌,并对样品的发光机理作了初步探讨.
关键词: 离子双注入 , 硅基薄膜发光 , 光致蓝紫发光 , 表面形貌
