赵幸娟
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王瑞荣
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石云波
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刘俊
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唐军
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.03.019
通过对微机械陀螺的调研分析,提出了一种新型微机械陀螺仪,并对陀螺进行了结构设计.该结构采用静电梳齿驱动、栅结构电容检测,使陀螺具有较高灵敏度.驱动模态和检测模态均为滑膜阻尼,能够实现较高的Q值,且具有一定的解耦特性.文中通过仿真分析得到了结构的各阶频率,使陀螺驱动模态和检测模态固有频率匹配,验证了结构的合理性.结合现有加工工艺水平进行了加工,并验证了其高灵敏度特性.
关键词:
硅微机械陀螺
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电容检测
,
结构设计
