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西门子反应器中硅棒的热传递模型

聂陟枫 , 谢刚 , 侯彦青 , 崔焱 , 李荣兴 , 俞小花

人工晶体学报

考虑西门子反应器中对流、辐射以及化学反应热三种热传递形式,建立了硅棒的二维轴对称热传递模型.相比于对流和化学反应热,辐射是最主要的传热方式.基于此模型分析了12对棒西门子反应器中硅棒辐射位置和反应器壁发射率对硅棒内部径向温度分布以及电流密度分布的影响.结果表明:直流电加热时,硅棒内部径向方向上形成了...

关键词: 热量传递 , 硅棒 , 电加热 , 西门子反应器