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射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响?

鲁媛媛 , 李贺军 , 杨冠军 , 蒋百灵 , 杨超

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.03.006

于不同射频功率下制备出非晶 Si 膜并对其进行真空退火处理，采用 XRD、TEM和少子寿命测试仪等检测手段分析了退火前后薄膜的微观结构及电学性能。研究发现，随着射频功率的增加，薄膜的中程有序度和少子寿命均呈先增后减的趋势。经真空退火处理后，非晶硅膜得以晶化，少子寿命较退火前有大幅提高；另外，退火后薄...

关键词: 硅膜 , 射频功率 , 真空退火 , 微观结构 , 少子寿命

改进溶胶-凝胶工艺制备铝合金硅基防护膜

李凌杰 , 欧孝通 , 陈德贤 , 张元 , 雷惊雷 , 张胜涛

腐蚀学报（英文） doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2009.02.040

采用改进的溶胶一凝胶工艺,即将6063铝合金浸入50℃硅溶胶中30分钟后提拉取出、室温固化,在其表面形成硅基防护膜.原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)及能量色散谱(EDS)对硅膜形貌和成分的表征结果表明,硅膜均匀致密,由尺寸约为200 nm的颗粒紧密、规则排列而成.Tafel极化曲线、...

关键词: 铝合金 , 溶胶-凝胶 , 硅膜 , 耐蚀性能

氢稀释比对氢化硅薄膜两相结构和电学性能的影响

鲁媛媛 , 李贺军 , 杨冠军

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140519

通过改变氢气对硅烷的稀释比 R, 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备出具有非晶/微晶相变过渡区的氢化硅薄膜, 并研究了所得硅膜在不同沉积阶段的微观结构和形貌、晶化效果和电学性能.研究结果表明,当 R=10 时, 样品呈典型的非晶特性; 随着氢稀释比的增大, 薄膜表现出两相结构, 且衬...

关键词: 氢稀释比 , 硅膜 , 两相结构 , 电学性能

改进溶胶-凝胶工艺制备铝合金硅基防护膜

李凌杰欧孝通陈德贤张元雷惊雷张胜涛

腐蚀学报（英文）

关键词: 铝合金 , sol-gel}silane coating , corrosion resistance , null