杨幸幸
,
邹应全
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2009.10.014
合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻(噁)体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250～285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.
关键词:
硫鎓盐
,
产酸剂
,
产酸效率
刘安昌
,
余彩虹
,
庞玉莲
,
张树康
,
董元海
,
余玉
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.06.564
以4-羟基苯硫酚和氯苄为原料、三乙胺为缚酸剂,制备了4-苄硫基苯酚;4-苄硫基苯酚在甲苯溶液中,经硫酸二甲酯甲基化制备了(4-羟基苯基)甲基苄基硫鎓硫酸盐;室温甲醇溶剂中,与六氟锑酸钠离子进行交换合成了目的产物(4-羟基苯基)甲基苄基硫翁六氟锑酸盐.通过紫外光谱和核磁共振测定,对产物进行了结构鉴定.总收率大于75％.
关键词:
紫外光引发剂
,
硫鎓盐
,
4-羟基苯硫酚
