崔丹
,
李淑娟
兵器材料科学与工程
硬脆材料具有良好的物理和力学特性，在航空航天和工业生产中得到广泛应用。但由于其高的硬度和脆性，使其加工过程变得非常困难。塑性域加工方法的提出是解决硬脆材料加工过程中产生的缺陷的一种有效方法，因此硬脆材料的塑性域和脆性域加工转换的临界条件获得广泛研究。从塑性域加工机理、塑性域加工模型、表面/亚表面损伤和塑性域加工的影响因素对国内外的研究现状进行综述，提出了硬脆材料塑性域加工未来的研究方向。
关键词:
硬脆材料
,
塑性域加工
,
塑脆转换
,
临界条件
陈剑彬
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沈剑云
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王江全
,
徐西鹏
材料科学与工艺
doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20170111
超声振动能很好地改善硬脆性材料的加工性能，为了探索超声振动锯切比能对单晶硅的影响，本文采用薄金刚石锯片，在有无超声振动的条件下对单晶硅进行锯切实验。实验结果表明：超声振动使锯切材料过程中的比能大幅度降低；2种锯切方式下锯切比能都随着单颗磨粒最大锯切厚度的增大而降低，但普通锯切方式下锯切比能呈幂指数递减趋势，而在超声振动的作用下比能变化趋势转变为良好的线性递减；并且单晶硅材料的去除方式由普通锯切中塑性去除为主导转变为脆性断裂去除，其破碎方式属于微破碎，趋于粉末状破碎，由此在不会对工件表面产生严重损伤的同时使材料去除所消耗的能量得到了有效降低。同时，超声振动使得锯片上的磨粒对单晶硅表面的高速冲击作用，使单晶硅产生大量微裂纹，对单晶硅的微小剥离起到很大作用。因此，超声振动在单晶硅材料的加工中有着很大的发展前景。
关键词:
超声振动
,
硬脆材料
,
金刚石薄锯片
,
单晶硅
,
锯切比能
