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电子电镀中若干新工艺和新技术

郁祖湛

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.09.002

介绍了电子电镀中的若干新工艺新技术,如芯片电镀、电化学机械研磨、微机电系统电镀、不溶性阳极电镀铜、镀铂铌电极以及无铅无镉中磷光亮化学镀镍、碱性蚀刻液再生和铜回收系统等.

关键词: 电子电镀 , 芯片电镀 , 电化学机械研磨 , 微机电系统电镀 , 不溶性阳极 , 镀铂铌电极 , 无铅无镉化学镀镍 , 碱性蚀刻液再生 , 铜回收