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CVD生长SiC涂层工艺过程的正交分析研究

徐志淮 , 李贺军

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2000.05.008

为了在C/C材料表面可靠地制备SiC抗氧化涂层,针对CVD工艺特点,采用正交设计方法对MTS+H2体系制备SiC工艺过程进行了全面系统的研究,在对沉积过程现象进行观察分析的基础上,计算了6种工艺因素对SiC-CVD过程影响的方差,对各自影响的显著性进行了分析,并讨论了所属的21种工艺条件对沉积结果的影响.

关键词: 碳/碳复合材料 , 碳化硅涂层 , CVD , 正交设计

SiC涂层对泡沫炭高温抗氧化性能的影响

张志金 , 王富耻 , 于晓东 , 邹优锐 , 李凯 , 栾志强

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.02.015

采用包埋法在中间相沥青基泡沫炭表面生成了一层致密的高温抗氧化碳化硅涂层,研究了SiC涂层对泡沫炭高温抗氧化性能的影响.通过热重分析仪(TG)对有、无SiC涂层的泡沫炭的抗氧化性能变化进行了分析,采用扫描电子显微镜(SEM)分析了SiC涂层的结构和形貌特征变化,同时在1 200℃空气气氛中对SiC涂层的抗氧化性能进行了测试.结果表明:SiC涂层使泡沫炭的抗氧化性能有了显著的提高,并且随着SiC涂层厚度的增加,泡沫炭的抗氧化性能也随之增强.

关键词: 泡沫炭 , 碳化硅涂层 , 包埋法 , 抗氧化

Mg-3Sn合金表面高导热耐腐蚀SiCx涂层研究

刘霞 , 陈云贵 , 肖素芬 , 唐永柏 , 丁武成 , 王春明 , 何代澄 , 唐永清

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.10.025

高导热耐腐蚀涂层在轻质镁合金散热器件中的应用具有重要的意义.研究了Mg-3Sn合金表面磁控溅射SiC薄膜的组织结构、导热及耐腐蚀性能.结果表明,Mg-3Sn镁合金表面磁控溅射SiCx薄膜为非晶态.相对于经盐雾实验后的Mg-3Sn合金基体,在25和100C条件下,经SiCx涂覆的Mg-3Sn材料腐蚀后的热导率分别提高23和16W/(m·K),且具有良好的耐腐蚀性能.

关键词: 镁合金 , 磁控溅射 , 碳化硅涂层 , 导热 , 腐蚀

碳化硅涂层的离子注入沉积改性

李舵 , 成来飞 , 吴守军 , 张立同 , 徐永东 , 沈季雄

材料导报

采用全方位离子注入和沉积(Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition,PⅢ&D),在SiC涂层表面形成注入沉积改性层(改性元素Al和Si),观察了离子注入和沉积对涂层表面裂纹的封填情况,分析了离子注入和沉积后涂层表面的相组成,考核了离子注入和沉积对SiC-C/SiC材料抗氧化性能的影响.实验结果表明:注入Al再注入沉积Si改性后显著降低复合材料在1300℃空气中的氧化质量损失,提高了复合材料的抗氧化能力,边注入边沉积Al和同时全方位沉积Al和Si改性对复合材料抗氧化性能改善作用较小,边注入边沉积Si改性改善复合材料抗氧化性能的作用最小.

关键词: 碳/碳化硅复合材料 , 碳化硅涂层 , 离子注入和沉积 , 抗氧化

C/C复合材料SiC涂层强冲蚀环境的烧蚀性能研究

姚栋嘉 , 李贺军 , 张守阳 , 李克智 , 王永杰

中国材料进展 doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2015.07.17

采用低压化学气相沉积法在碳纤维增强碳基(C/C)复合材料表面制备了碳化硅(SiC)涂层,借助XRD与SEM对SiC涂层的微观结构进行了分析,采用划痕仪测试了SiC涂层的结合力,研究了涂覆涂层后的C/C复合材料在强冲蚀条件下的烧蚀性能,分析了SiC涂层在强冲蚀条件下的失效机理.结果表明:LPCVD法制备的SiC涂层结构完整,无裂纹,无缺陷;涂层的结合力较弱,为5N;C/C复合材料烧蚀600s后涂层大部分区域保持完好,冲刷最强位置涂层遭到破坏;机械剥蚀是在强冲蚀条件下SiC涂层失效的主要原因.

关键词: 炭/炭复合材料 , 碳化硅涂层 , 抗烧蚀

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