李长荣
,
王冈
,
李静波
,
张维敬
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1999.03.012
运用相平衡分析的方法,对(Ga,In)As半导体MOVPE生长过程中源物质热分解后的气相物种分压进行了分析,得到了沉积物种的生成率随各生长参数的变化规律,同时对气相物种分压与半导体碳污染的关系也进行了分析.
关键词:
(Ga,In)As半导体
,
相平衡
,
热分解
,
碳污染
刘永胜
,
成来飞
,
张立同
,
徐永东
,
张显
稀有金属材料与工程
铀和铀合金用涂层不同于通常的耐高温涂层,不仅要求具有耐高温和抗热震,还要求涂层与基体和熔体之间具有化学稳定性.分析了熔炼过程中的铀和铀合金的碳污染源和污染机理.表明炉内的CO和涂层的缺陷面积是熔体碳污染的主要来源,而熔体的碳污染对涂层缺陷面积更敏感,并指出了涂层的设计要求.不同涂层材料体系和制备方法的比较表明:单层涂层不能满足高性能高质量铀和铀合金熔炼的要求;内层为阻挡层(碳化物或难熔金属W,Nb,Mo等),外层为Y2O3的复合涂层,能够满足高温铀合金的熔炼要求,是铀和铀合金用涂层的发展趋势.
关键词:
铀和铀合金
,
涂层
,
碳污染
,
研究进展
