杨明海
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张罡
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姚俊
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杨曦
材料导报
强流脉冲离子束在离子能量密度达到5J/cm2的条件下,辐照靶材表面形成二次烧蚀等离子体,可以在基材表面沉积与靶材化学成分一致性良好的膜层.评述了近年强流脉冲离子束沉积功能膜的研究进展,为进一步进行膜层沉积机理和工艺研究提供理论依据.
关键词:
强流脉冲离子束
,
碳离子加速器
,
沉积膜层
张健
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张罡
,
毕鉴智
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李玉海
,
姚俊
腐蚀学报（英文）
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2005.03.008
采用TIA-450自绝缘二极管碳离子加速器对T5K10刀具进行了强流脉冲离子束辐照表面处理,加速器的加速电压为250 keV,束流密度为60 A/cm2～150 A/cm2,脉冲时间为80纳秒,脉冲次数为2次.XRD、SEM、EDS以及显微硬度分析研究结果表明:当束流密度达到100 A/cm2,材料表面为完全熔化凝固组织;当束流密度达到150 A/cm2时,表面层下也出现熔化凝固组织;熔化凝固组织没有明显相变.在100 A/cm2～150 A/cm2内,同未辐照表面相比,显微硬度提高1.25倍.硬度增加的主要原因是表面快速凝固组织产生硬化相和基体相中化学成分的重新分布、碳元素的烧损以及晶界的强化.
关键词:
强流脉冲离子束
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碳离子加速器
,
表面改性
