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碳酰胺与氢化锆高温下原位反应层的AES/XPS分析

闫国庆 , 陈洋 , 吴明 , 彭家庆 , 王力军

稀有金属材料与工程

采用碳酰胺高温分解产生含C、O、N源与氢化锆原位反应制备阻氢渗透层,借助俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)等手段对阻氢渗透层元素成分及深度、键态进行分析.AES结果表明:氢化锆表面原位反应层由C、N、O、Zr元素组成,随溅射时间增加,O、Zr元素含量增加,C、N元素含量降低.原位反应...

关键词: 氢化锆 , 阻氢渗透层 , 碳酰胺 , XPS , AES