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新型AFM原子分辨率导电探针技术研究

张欢 , 马宗敏 , 谢艳娜 , 唐军 , 石云波 , 薛晨阳 , 刘俊 , 李艳君

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.022

目的:制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针NaCl(001)表面,分析其性能。结果自制的Fe薄膜Si探针由于蒸镀了金属薄膜,探针针尖性能稳定,Si探针扫描效果的悬挂键影响被消除,同时提高了系统的扫描分辨率。结论导电薄膜Si探针能够充分利用现有的仪器设备进行实验,具有造价低、使用简单、性能稳定等优点,可以作为将来磁交换力显微镜( MExFM)的磁性探针来测试材料的表面磁信息。

关键词: 导电薄膜 , Si探针 , 原子分辨率 , 磁交换力显微镜

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